? ?壓覺傳感器實(shí)際是接觸傳感器的引伸。目前，壓覺傳感器主要有如下幾類：

? ? ? ?1.利用某些材料的內(nèi)阻隨壓力變化而變化的壓阻效應(yīng)，制成壓阻器件，將它們密集配置成陣列，即可檢測(cè)壓力的分布。如壓敏導(dǎo)電橡膠或塑料等。

? ? ? ?2.利用壓電效應(yīng)器件．如壓電晶體等，將它們制成類似人的皮膚的壓電薄膜，感知外界壓力。它的優(yōu)點(diǎn)是耐腐蝕、頻帶寬和靈敏度高等；但缺點(diǎn)是無直流響應(yīng)，不能直接檢測(cè)靜態(tài)信號(hào)。????

? ? ? ?3.利用半導(dǎo)體力敏器件與信號(hào)電路構(gòu)成集成壓敏傳感器。常用的有三種：壓電型(如

ZnO／Si-IC)、電阻型SIR(硅集成)和電容型SIC。其優(yōu)點(diǎn)是體積小、成本低、便于同計(jì)算機(jī)接口，缺點(diǎn)是耐壓負(fù)載差、不柔軟。

? ? ? ?4.利用壓磁傳感器、掃描電路與針式差動(dòng)變壓器式接觸覺傳感器構(gòu)成壓覺傳感器。壓磁器件有較強(qiáng)的過載能力，但體積較大。

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? ? ? ?如圖上圖是用半導(dǎo)體技術(shù)制成的高密度智能壓覺傳感器，它是一種很有發(fā)展前途的壓覺傳感器。其中壓阻式和電容式使用最多。雖然，壓阻式器件比電容式器件的線性好，封裝簡(jiǎn)單，但是壓阻器件的壓力靈敏度要比電容器件小一個(gè)數(shù)量級(jí)，溫度靈敏度比電容器件大一個(gè)數(shù)量級(jí)。因此，電容式壓覺傳感器，特別是硅電容壓覺傳感器得到廣泛應(yīng)用。

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