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一種新型高性能柔性應(yīng)變傳感器

日期: 2017-10-16
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早在20世紀(jì)70年代,電子皮膚的概念就已經(jīng)出現(xiàn)在很多科幻作品中。與此同時(shí),科學(xué)家也開(kāi)始對(duì)電子皮膚不斷進(jìn)行探索,因?yàn)樗谥悄軝C(jī)器人、仿生假肢、健康監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有巨大應(yīng)用前景。電子皮膚的基本單元是柔性應(yīng)變傳感器。然而,現(xiàn)有的應(yīng)變敏感材料,由于導(dǎo)電性差、能耗高、制作工藝復(fù)雜、成本高等缺點(diǎn),極大地限制了電子皮膚的實(shí)際應(yīng)用。所以,尋找新型應(yīng)變傳感材料迫在眉睫。


金屬合金是人類(lèi)最早并且至今仍在日常生活中使用最廣泛的材料之一。然而,晶體金屬合金的彈性極限范圍很小,一般金屬合金材料的彈性極限遠(yuǎn)小于新型柔性高性能應(yīng)變傳感器——非晶合金皮膚。


一種新型高性能柔性應(yīng)變傳感器


非晶合金皮膚是通過(guò)離子束濺射方法將ZrCuNiAl等非晶合金薄膜直接生長(zhǎng)在柔性塑料(PC)襯底上得到的。 非晶合金傳感器柔性好(彎曲角>180?),通過(guò)對(duì)薄膜厚度的調(diào)控可以視覺(jué)上變得“透明”。對(duì)該傳感器進(jìn)行的壓阻效應(yīng)測(cè)試結(jié)果表明,非晶合金皮膚保留了金屬材料高電導(dǎo)率(>5000 S cm-1)、而且電阻與應(yīng)變之間有完美的線性關(guān)系、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。同時(shí),與傳統(tǒng)晶態(tài)金屬材料相比,彈性范圍有很大的提高(室溫下的理論彈性極限為4.2%)。此外,該傳感器有極小的電阻溫度系數(shù)(9.04×10-6?K-1),明顯的抗菌性等特點(diǎn)。另外, 非晶柔性應(yīng)變傳感器制備方法簡(jiǎn)單,制造成本低。利用非晶合金柔性應(yīng)變傳感器這些獨(dú)特性質(zhì),有望推動(dòng)電子皮膚的早日實(shí)際應(yīng)用,同時(shí)也為非晶合金材料的應(yīng)用開(kāi)辟新的途徑。



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