應(yīng)變式壓力傳感器是壓力傳感器中應(yīng)用比較多的一種傳感器,它一般用于測量較大的壓力,廣泛應(yīng)用于測量管道內(nèi)部壓力、內(nèi)燃機燃氣的壓力、壓差和噴射壓力、發(fā)動機和導(dǎo)彈試驗中的脈動壓力,以及各種領(lǐng)域中的流體壓力等。它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時,中心處徑向應(yīng)變和切向應(yīng)變均達到正的最大值,而邊緣處徑向應(yīng)變達到負的最大值,切向應(yīng)變?yōu)榱恪?/span>
因此常把兩個應(yīng)變片分別貼在正負最大應(yīng)變處,并接成相鄰橋臂的半橋電路以獲得較大靈敏度和溫度補償作用。采用圓形箔式應(yīng)變計(見電阻應(yīng)變計)則能最大限度地利用膜片的應(yīng)變效果。這種傳感器的非線性較顯著。膜片式壓力傳感器的最新產(chǎn)品是將彈性敏感元件和應(yīng)變片的作用集于單晶硅膜片一身,即采用集成電路工藝在單晶硅膜片上擴散制作電阻條,并采用周邊固定結(jié)構(gòu)制成的固態(tài)壓力傳感器(見壓阻式傳感器)。設(shè)計者通常選擇將傳感器放置在離待測介質(zhì)盡可能近的地方,以便獲得最準確的讀數(shù)。但是,如果壓力傳感器與待測液體不兼容,這會給醫(yī)療設(shè)備設(shè)計人員造成大麻煩,迫使他們?yōu)閭鞲衅魈砑颖Wo功能。在很多情況下,這些額外的組件會明顯增加醫(yī)療設(shè)備的設(shè)計時間和成本。即使是在流體通常不會接觸傳感器的診斷應(yīng)用中,設(shè)計者們?nèi)匀恍枰紤]最壞的情形,如在應(yīng)用中可能出現(xiàn)過壓或液體在管中流動超過預(yù)設(shè)值而觸及傳感器等情況。
設(shè)計者怎樣做才能確保傳感器與流體隔離呢?這就牽涉到管路的設(shè)計,因此他們需要考慮組件在系統(tǒng)中的定位,以將流體與傳感器隔離開來,或是需要在設(shè)計中加入過濾器等附加組件,解決濕度的問題。為了簡化設(shè)計者們?yōu)獒t(yī)療設(shè)備挑選合適壓力傳感器工作量,傳感器廠商專門開發(fā)出針對性解決方案。這些解決方案不僅隔離了液體介質(zhì),而且免去了集成附加保護功能的需要,使得工程師無需修改設(shè)計便可確保液體與傳感器不會發(fā)生接觸,從而簡化了設(shè)計工作?;瘜W(xué)分析儀就是一個很有說服力的應(yīng)用示例,該析儀中使用了液體介質(zhì)兼容的電路板安裝型壓力傳感器。在化學(xué)分析儀中,需要使用移液管抽吸樣本液體,然后把樣本滴入樣本瓶進行混合或分析。此時應(yīng)判斷移液管是否暢通或者是否正確放置在樣本瓶里,以保證液體量正確,而這就需要用到壓力傳感器。
化學(xué)分析儀應(yīng)用中最基本要求就是以可重復(fù)的方式精確測量流過系統(tǒng)的特定液體量,因此壓力傳感器必須具備高精度和可重復(fù)性,可勝任低壓力工作要求,還要能夠耐受因沖洗或清洗液體通路而產(chǎn)生的較高壓力。又稱應(yīng)變筒式。它的彈性敏感元件為一端封閉的薄壁圓筒,其另一端帶有法蘭與被測系統(tǒng)連接。在筒壁上貼有2片或4片應(yīng)變片,其中一半貼在實心部分作為溫度補償片,另一半作為測量應(yīng)變片。當沒有壓力時4片應(yīng)變片組成平衡的全橋式電路;當壓力作用于內(nèi)腔時,圓筒變形成“腰鼓形”,使電橋失去平衡,輸出與壓力成一定關(guān)系的電壓。這種傳感器還可以利用活塞將被測壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到應(yīng)變筒上或通過垂鏈形狀的膜片傳遞被測壓力。應(yīng)變管式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)簡單、制造方便、適用性強,在火箭彈、炮彈和火炮的動態(tài)壓力測量方面有廣泛應(yīng)用。
測量較小壓力時,可采用固定梁或等強度梁的結(jié)構(gòu)。一種方法是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過傳力桿傳遞給應(yīng)變梁。兩端固定梁的最大應(yīng)變處在梁的兩端和中點,應(yīng)變片就貼在這些地方。這種結(jié)構(gòu)還有其他形式,例如可采用懸梁與膜片或波紋管構(gòu)成。在組合式應(yīng)變壓力傳感器中,彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應(yīng)變元件。