壓阻式壓力傳感器的壓力丈量試驗

一、?試驗意圖：了解松懈硅壓阻式壓力傳感器丈量壓力的原理和辦法。

二、?基本原理：松懈硅壓阻式壓力傳感器在單晶硅的基片上松懈出P型

或N型電阻條，接成電橋。在壓力效果下，依據(jù)半導體的壓阻效應，基片發(fā)生應力，電阻條的電阻率發(fā)生很大改動，致使電阻的改動，咱們把這一改動引進丈量電路，則其輸出電壓的改動反映了所遭到的壓力改動。

三、?試驗設備：壓力源、壓力表、壓阻式壓力傳感器、壓力傳感器試驗

模板、流量計、三通聯(lián)接導管、數(shù)顯單元、直流穩(wěn)壓源±4V、±15V。

四、?試驗辦法和央求：

1、依據(jù)電子電路常識完畢電路聯(lián)接，主控箱內的氣源有些、緊縮泵、儲氣箱、流量計在主控箱內部已接好。將最為標準出的壓力表需要放置傳感器支架上面，再三通聯(lián)出接納中硬管一端的刺進在主控板上的氣源快速插座中（留心管子拉出時再請用雙指按住氣源插座邊際往內壓，則硬管可輕松拉出）。其他兩根軟導管分別與規(guī)范表和壓力傳感器接通。將傳感器引線插頭刺進試驗模板的插座中。

2、需要先松開實驗流量計下端的進氣口調氣閥的旋鈕，去注冊流量計。?3、再合上主控箱上的氣源開關，建議緊縮泵，此時可看到流量計中的滾珠浮子在向上浮起懸于玻璃管中。

4、逐漸關小流量計旋鈕，使規(guī)范壓力表指示某一刻度，查詢數(shù)顯表閃現(xiàn)電壓的正、負，若為負值則對調傳感器氣咀接法。

5、細心地逐漸由小到大調度流量計旋鈕，使壓力閃現(xiàn)在4—14KP之間，每上升1KP分別讀取壓力表讀數(shù)，記下相應的數(shù)顯表值。?6、核算本系統(tǒng)的靈敏度和非線性過失。

五、?思考題：

假定本試驗設備要成為一個壓力計，則有必要對其進行標定，怎么標定？